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触屏型台式匀胶机
触屏型台式匀胶机
产品型号:KW-4T
产品编号:TC-024386
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触屏型台式匀胶机 型号:KW-4T

触摸高性能涂胶设备
广泛应用于半导体, 集成电路,材料, 微光学, 生命科学,凝聚态物理,化学等科学研究与生产。
可用于硅片/载玻片/化合物镜片/ITO/导电玻璃等各种基底材料的表面处理和涂覆。
20 年精心打造核心技术, KW- 4T 全触摸屏高性能匀胶机全面上市, 性能全面提升, 全新外观!
型号
转速 250-9000 RPM,各阶段速度可任意调节
转速稳定性 <1%(片内);<1%(片间)
基片尺寸   Φ5-Φ100mm圆片,最大 100mm×100mm方片
显示/程序控制   全触摸屏操作,快速启动,人性化界面,适合专业用户的需求
工艺阶段   6步工艺调速设计,最大单步旋涂时间:1800S,可根据客户需求增加

整机尺寸(mm) 240mm×305mm×248mm
适应材料/工艺支持 适合硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN, InP等各种材料及工艺服务
特殊夹具定制  20年特殊夹具设计经验,完美匹配超薄、异形、脆性易碎样品
电机功率  40W
真空泵抽气速率   80L/min
 

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